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15
1.
.., ..
, 2021 ., 160, . 4, . 565
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2. SiOx, -
.., ..., .., .., ..
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PDF (320K)

3. a-SiNx:H
.., .., .., .., ., ..
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PDF (2437.2K)

4. Lu2 O3
5.
6. ,
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8. Al2 O3 - ab initio
9. TiO2 : ab initio
10. ab initio -
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.., .., ..
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12. SiO2:
13. ----
14. , SiNx
15. ZrO2