Journal of Experimental and Theoretical Physics
HOME | SEARCH | AUTHORS | HELP      
Journal Issues
Golden Pages
About This journal
Aims and Scope
Editorial Board
Manuscript Submission
Guidelines for Authors
Manuscript Status
Contacts


ZhETF, Vol. 141, No. 1, p. 96 (January 2012)
(English translation - JETP, Vol. 114, No. 1, p. 85, January 2012 available online at www.springer.com )

МАГНИТОПЛАСТИЧНОСТЬ И ДИФФУЗИЯ В МОНОКРИСТАЛЛАХ КРЕМНИЯ
Скворцов А.А., Каризин А.В.

Received: April 10, 2011

DJVU (64.4K) PDF (207.2K)

Рассматривается влияние постоянных магнитных полей на динамику поверхностных дислокационных сегментов, а также диффузионную подвижность примеси в монокристаллах кремния. Экспериментально обнаружено, что предварительная обработка кремниевых пластин p-типа (легирующая примесь - бор с концентрацией 1016 см-3) в постоянном магнитном поле (B=1 Тл, время обработки 30 мин) приводит к увеличению подвижности поверхностных дислокационных сегментов. Зафиксированы характерные времена наблюдаемых изменений (примерно 80 ч) и пороговая концентрация примеси (1015 см-3), ниже которых магнитопластический эффект в кремнии не фиксируется. Обнаружено, что диффузионные процессы в бездислокационном кремнии также являются магниточувствительными: глубина диффузии фосфора в кремнии p-типа, предварительно выдержанном в постоянном магнитном поле, возрастает (примерно на 20 %) по сравнению с контрольными образцами.

 
Report problems