МАГНИТОПЛАСТИЧНОСТЬ И ДИФФУЗИЯ В МОНОКРИСТАЛЛАХ КРЕМНИЯ
Скворцов А.А., Каризин А.В.

Поступила в редакцию: 10 Апреля 2011

DJVU (64.4K)

PDF (207.2K)

Рассматривается влияние постоянных магнитных полей на динамику поверхностных дислокационных сегментов, а также диффузионную подвижность примеси в монокристаллах кремния. Экспериментально обнаружено, что предварительная обработка кремниевых пластин p-типа (легирующая примесь - бор с концентрацией 10¹⁶ см^-3) в постоянном магнитном поле (B=1 Тл, время обработки 30 мин) приводит к увеличению подвижности поверхностных дислокационных сегментов. Зафиксированы характерные времена наблюдаемых изменений (примерно 80 ч) и пороговая концентрация примеси (10¹⁵ см^-3), ниже которых магнитопластический эффект в кремнии не фиксируется. Обнаружено, что диффузионные процессы в бездислокационном кремнии также являются магниточувствительными: глубина диффузии фосфора в кремнии p-типа, предварительно выдержанном в постоянном магнитном поле, возрастает (примерно на 20 %) по сравнению с контрольными образцами.