![](/img/nop.png)
ZhETF, Vol. 124,
No. 6,
p. 1291 (December 2003)
(English translation - JETP,
Vol. 97, No. 6,
p. 1154,
December 2003
available online at www.springer.com
)
ОБРАЗОВАНИЕ НАНОУГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ В ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЕ
Золотухин А.А., Образцов А.Н., Устинов А.О., Волков А.П.
Received: April 22, 2003
PACS: 81.05.Uw, 81.15.Gh, 52.70.Ds, 52.70.Kz, 52.80.Hc
Проведено исследование процесса осаждения углеродных материалов из метан-водородной газовой смеси в разряде постоянного тока. Определены параметры, определяющие условия стабильного разряда и формирования пленок с алмазной и графитной структурой. С помощью оптической эмиссионной спектроскопии проведено изучение состава активированной газовой фазы в процессе осаждения углеродных пленок. Обнаружена корреляция процесса образования графитоподобного наноуглеродного материала в виде углеродных нанотрубок и нанокристаллитов графита с наличием в плазме димеров C2. Предложен механизм безкаталитического формирования нанографитного материала из углеродсодержащей газовой фазы.
|
|