ОБРАЗОВАНИЕ НАНОУГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ В ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЕ
Золотухин А.А., Образцов А.Н., Устинов А.О., Волков А.П.

Поступила в редакцию: 22 Апреля 2003

PACS: 81.05.Uw, 81.15.Gh, 52.70.Ds, 52.70.Kz, 52.80.Hc

DJVU (139.4K)

PDF (374.4K)

Проведено исследование процесса осаждения углеродных материалов из метан-водородной газовой смеси в разряде постоянного тока. Определены параметры, определяющие условия стабильного разряда и формирования пленок с алмазной и графитной структурой. С помощью оптической эмиссионной спектроскопии проведено изучение состава активированной газовой фазы в процессе осаждения углеродных пленок. Обнаружена корреляция процесса образования графитоподобного наноуглеродного материала в виде углеродных нанотрубок и нанокристаллитов графита с наличием в плазме димеров C₂. Предложен механизм безкаталитического формирования нанографитного материала из углеродсодержащей газовой фазы.