JETP, Vol. 81,
No 2,
p. 367 (August 1995)
(Русский оригинал - ЖЭТФ,
Том 108,
Вып. 2,
стр. 676,
Август 1995
)
Formation of polyatomic ions during the sputtering of multicomponent oxides
I. Yu. Panichkin, S.P. Chenakin
Поступила в редакцию: 20 Октября 1994
|
|
Золотые страницы
PDF (307.1K)