ЖЭТФ, Том 60,
Вып. 4,
стр. 1393 (Октябрь 1971)
(Английский перевод - JETP,
Vol. 33,
No. 4,
p. 753,
October 1971
)
Статья доступна on-line только в английском переводе.
Mechanism of Formation of the Ion Component in Cathode Sputtering of Metals
V.I. Veksler, B.A. Tsipinyuk
Поступила в редакцию: 18 Сентября 1970
|
|
Золотые страницы
PDF (547.4K)