ЖЭТФ, Том 148,
Вып. 6,
стр. 1186 (Декабрь 2015)
(Английский перевод - JETP,
Vol. 121, No 6,
p. 1042,
December 2015
доступен on-line на www.springer.com
)
ТЕРМОДИНАМИКА ФАЗОВОГО ПЕРЕХОДА НАНОЧАСТИЦ КРЕМНИЯ ПРИ ОТЖИГЕ И КАРБОНИЗАЦИИ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ
Нагорнов Ю.С.
Поступила в редакцию: 2 Июня 2015
DOI: 10.7868/S0044451015120135
Выполнен анализ формирования нанокристаллов SiC кубической модификации в процессе высокотемпературной карбонизации пористого кремния. Предлагается термодинамическая модель для описания совокупности экспериментальных данных, полученных методами атомно-силовой микроскопии, комбинационного рассеяния, спектрального анализа, оже-спектроскопии и рентгенодифракционной спектроскопии. Показано, что поверхностная энергия наночастиц и квантовых нитей кремния в процессе отжига и карбонизации освобождается. Моделирование методом Монте-Карло показало, что освободившаяся энергия позволяет преодолеть барьер зародышеобразования и сформировать нанокристаллы SiC. Выполнен анализ процессов лазерного отжига и электронного облучения карбонизированного пористого кремния.
|
|
Золотые страницы
DJVU (393.8K)
PDF (1420.1K)