ТЕРМОДИНАМИКА ФАЗОВОГО ПЕРЕХОДА НАНОЧАСТИЦ КРЕМНИЯ ПРИ ОТЖИГЕ И КАРБОНИЗАЦИИ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ
Нагорнов Ю.С.

Received: June 2, 2015

DOI: 10.7868/S0044451015120135

DJVU (393.8K)

PDF (1420.1K)

Выполнен анализ формирования нанокристаллов SiC кубической модификации в процессе высокотемпературной карбонизации пористого кремния. Предлагается термодинамическая модель для описания совокупности экспериментальных данных, полученных методами атомно-силовой микроскопии, комбинационного рассеяния, спектрального анализа, оже-спектроскопии и рентгенодифракционной спектроскопии. Показано, что поверхностная энергия наночастиц и квантовых нитей кремния в процессе отжига и карбонизации освобождается. Моделирование методом Монте-Карло показало, что освободившаяся энергия позволяет преодолеть барьер зародышеобразования и сформировать нанокристаллы SiC. Выполнен анализ процессов лазерного отжига и электронного облучения карбонизированного пористого кремния.