ZhETF, Vol. 166,
No. 2,
p. 232 (August 2024)
(English translation - JETP,
Vol. 139, No. 2,
August 2024
available online at www.springer.com
)
Атомный механизм влияния упругих деформаций эпитаксиальных слоев на поверхности на диффузию адатомов
Жачук Р.А.
Received: February 13, 2024
DOI: 10.31857/S004445102408008X
С помощью расчетов на основе теории функционала плотности исследован атомный механизм влияния деформаций сжатия, образующихся на поверхности эпитаксиальных слоев -, выращенных на подложке , на диффузию адатомов . Было найдено, что энергетический барьер, ограничивающий миграцию адатомов на большие расстояния, расположен вблизи угловых вакансий структуры и вызван образованием ковалентной связи между адатомом и атомом димера в составе структуры . Показано, что увеличение барьера на упруго-сжатой поверхности происходит из-за усиления связи в димере при сжатии поверхности, что ведет к ослаблению связи между адатомом и атомом димера.
|
|