МОДЕЛЬ ЭМИССИИ КВАЗИТЕПЛОВЫХ АТОМОВ ПРИ РАСПЫЛЕНИИ МЕТАЛЛОВ В РЕЖИМЕ НЕЛИНЕЙНЫХ КАСКАДОВ СТОЛКНОВЕНИЙ
Белых С.Ф., Толстогузов А.Б., Лозован А.А., Алешин М.Е., Елантьев И.А.

Received: October 6, 2013

DOI: 10.7868/S0044451014040065

DJVU (139.2K)

PDF (364.2K)

Ионное распыление металлов и замороженных инертных газов в режиме нелинейных каскадов столкновений, когда плотность энергии, выделенной в объеме теплового пика, превышает критическую температуру среды, инициирует эмиссию «квазитепловых» атомов. Энергетический спектр таких атомов существенно смещен в область малых энергий и не описывается максвелловским распределением. В предположении о столкновительном движении распыленных атомов на отлете от мишени предложена простая модель эмиссии, в рамках которой получена аналитическая формула для расчета энергетических спектров «квазитепловых» атомов. Сравнение рассчитанных энергетических спектров атомов индия, криптона, ксенона и спектров, измеренных при ионном распылении индия и замороженных инертных газов в режиме нелинейных каскадов столкновений, показало их согласие при разумных значениях подгоночных параметров.