ОРБИТАЛЬНОЕ ДВИЖЕНИЕ ПЫЛЕВЫХ ЧАСТИЦ В МАГНЕТРОННОМ ВЫСОКОЧАСТОТНОМ РАЗРЯДЕ: СИЛА ИОННОГО УВЛЕЧЕНИЯ ИЛИ ВЕТРА НЕЙТРАЛЬНЫХ АТОМОВ
Паль А.Ф., Рябинкин А.Н., Серов А.О., Дятко Н.А., Старостин А.Н., Филиппов А.В.

Received: May 26, 2011

DJVU (326.1K)

PDF (754.4K)

Осуществлено удержание микрочастиц размерами до 130 мкм и проведены одновременные измерения скорости и диаметра частиц в плазменно-пылевой ловушке магнетронного высокочастотного разряда с магнитным полем арочного типа. Проведено численное моделирование движения газа на основе уравнения Навье - Стокса под действием циклотронных токов электронов и ионов. Полученные экспериментальные и численные результаты подтвердили механизм орбитального движения пылевых частиц в плазме магнетронного разряда, связанный с орбитальным движением нейтрального газа, ускоренного дрейфовыми потоками электронов и ионов в скрещенных электрическом и магнитном полях.