ПЕРЕНОС ЗАРЯДА В ДИЭЛЕКТРИКАХ ТУННЕЛИРОВАНИЕМ МЕЖДУ ЛОВУШКАМИ
Насыров К.А., Гриценко В.А.

Received: October 26, 2010

DJVU (227.5K)

PDF (454.6K)

Развита теория переноса заряда в диэлектрике путем туннелирования между ловушками. В отличие от модели Френкеля ловушки в нитриде кремния характеризуются двумя энергиями: оптической и термической, и ионизация происходит по многофононному механизму. Теория предсказывает, что туннелирование между такими ловушками является термостимулированным, в качестве энергии активации выступает полуразность оптической и термической энергий. Эта теория успешно объясняет экспериментальные вольт-амперные характеристики нитрида кремния, обогащенного кремнием. Такой нитрид кремния содержит большое количество ловушек, природа которых связана с избыточным кремнием, и в нем реализуется перенос заряда путем туннелирования между близко расположенными ловушками.