ПОДВИЖНОСТЬ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА В СЛОЯХ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ
Форш П.А., Мартышов М.Н., Латышева А.П., Воронцов А.С., Тимошенко В.Ю., Кашкаров П.К.

Received: May 29, 2007

PACS: 73.63.-b, 72.20.-i, 78.30.-j

DJVU (79K)

PDF (314.2K)

В работе путем совместных измерений электропроводности и концентрации свободных носителей заряда, определяемой из ИК-спектров поглощения, оценена величина подвижности (подвижности по проводимости) основных носителей заряда в слоях пористого кремния n- и p-типов. Для выяснения процессов, определяющих подвижность в пористом кремнии, использовалась адсорбция донорных и акцепторных молекул, в результате которой происходило изменение локальных электрических полей в структуре. Установлено, что адсорбция акцепторных и донорных молекул на пористый кремний соответственно p- и n-типов, приводит к сильному увеличению электропроводности, которое связано как с повышением концентрации свободных носителей заряда, так и с увеличением их подвижности. Рост подвижности носителей заряда в результате адсорбции указывает на ключевую роль потенциальных барьеров на границах кремниевых нанокристаллов и может быть связан с уменьшением их высоты при адсорбции.