ИССЛЕДОВАНИЕ ПОПЕРЕЧНОЙ КОРРЕЛЯЦИИ ШЕРОХОВАТОСТЕЙ ГРАНИЦ В МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУРАХ С УЛЬТРАКОРОТКИМИ ПЕРИОДАМИ
Вайнер Ю.А., Пестов А.Е., Прохоров К.А., Салащенко Н.Н., Фраерман А.А., Чернов В.В., Чхало Н.И.

Received: February 4, 2005

PACS: 41.50.+h, 82.65.+r

DJVU (102.6K)

PDF (354.9K)

Методом диффузного рассеяния исследована серии W/B₄C многослойных структур с ультракороткими периодами (d=0.8-1.5 нм). Описана простая теоретическая модель, учитывающая как динамические эффекты взаимодействия встречных диффузно рассеянных волн, так и перемешивание материалов пленок на границах слоев. Показано, что многослойные структуры с числом бислоев до N=700 и значениями периодов вплоть до 0.8 нм представляют собой хорошо скоррелированные по границам многослойные структуры и для них наблюдается явление резонансного диффузного рассеяния. Для структур с периодом d>1.1 нм больший вклад в несовершенство границ вносит не шероховатость, а перемешивание пленок. Определена область минимальных периодов многослойных структур, для которых сохраняется сплошность пленок. Для многослойных структур с ненарушенной сплошностью пленок обнаружен эффект «сглаживания» поверхности подложки, что находится в некотором противоречии с положенным в основу теории предположением о полной продольной корреляции шероховатостей.