Journal of Experimental and Theoretical Physics
HOME | SEARCH | AUTHORS | HELP      
Journal Issues
Golden Pages
About This journal
Aims and Scope
Editorial Board
Manuscript Submission
Guidelines for Authors
Manuscript Status
Contacts


ZhETF, Vol. 124, No. 6, p. 1345 (December 2003)
(English translation - JETP, Vol. 97, No. 6, p. 1201, December 2003 available online at www.springer.com )

ИССЛЕДОВАНИЕ КРОСС-КОРРЕЛЯЦИИ ШЕРОХОВАТОСТИ В МНОГОСЛОЙНОМ ЗЕРКАЛЕ Ni/C МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОГО ДИФФУЗНОГО РАССЕЯНИЯ
Коваленко Н.В., Мытниченко С.В., Чернов В.А.

Received: April 24, 2003

PACS: 68.55.-a, 61.10.Eq, 07.85.Fv

DJVU (160.6K) PDF (399.2K)

Обсуждаются возможности рентгеновского диффузного рассеяния для исследования шероховатости в многослойных рентгеновских зеркалах, в том числе корреляции шероховатостей соседних границ раздела (кросс-корреляции шероховатости). Показано, что надежность и информативность этого метода можно увеличить за счет отказа от классических схем эксперимента и использования альтернативных схем, в которых измеряется не только сама интенсивность диффузного рассеяния, но и ее зависимость от некоторых экспериментальных параметров (условий). Такими параметрами могут быть пространственная когерентность падающего излучения, направление переданного импульса относительно плоскости зеркальной дифракции, длина волны рентгеновского излучения и др. В рамках такого подхода в работе представлены результаты сравнительных измерений диффузного рассеяния от многослойного рентгеновского зеркала Ni/C, приготовленного с помощью лазерного напыления, при двух близких энергиях фотонов: ниже (8.325 кэВ) и выше (8.350 кэВ) K-края поглощения никеля. Показано, что за счет эффективного экранирования глубоких слоев в режиме жесткого фотопоглощения этот метод позволяет получить более надежную по сравнению со стандартным методом диффузного рассеяния информацию об эволюции межслоевых границ раздела. Обнаружено, что сглаживание шероховатости в исследуемом образце происходит в таких больших пространственных масштабах как микронный. Только крупномасштабные дефекты с размерами б&оacute;льшими 10 мкм достаточно хорошо воспроизводятся от слоя к слою. Обсуждаются возможные физические причины наблюдаемого явления. Показано, что эффективное сглаживание в микронном и субмикронном пространственных масштабах имеет принципиальное значение для изготовления многослойных рентгеновских зеркал с высокими коэффициентами отражения.

 
Report problems