ИССЛЕДОВАНИЕ КРОСС-КОРРЕЛЯЦИИ ШЕРОХОВАТОСТИ В МНОГОСЛОЙНОМ ЗЕРКАЛЕ Ni/C МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОГО ДИФФУЗНОГО РАССЕЯНИЯ
Коваленко Н.В., Мытниченко С.В., Чернов В.А.

Received: April 24, 2003

PACS: 68.55.-a, 61.10.Eq, 07.85.Fv

DJVU (160.6K)

PDF (399.2K)

Обсуждаются возможности рентгеновского диффузного рассеяния для исследования шероховатости в многослойных рентгеновских зеркалах, в том числе корреляции шероховатостей соседних границ раздела (кросс-корреляции шероховатости). Показано, что надежность и информативность этого метода можно увеличить за счет отказа от классических схем эксперимента и использования альтернативных схем, в которых измеряется не только сама интенсивность диффузного рассеяния, но и ее зависимость от некоторых экспериментальных параметров (условий). Такими параметрами могут быть пространственная когерентность падающего излучения, направление переданного импульса относительно плоскости зеркальной дифракции, длина волны рентгеновского излучения и др. В рамках такого подхода в работе представлены результаты сравнительных измерений диффузного рассеяния от многослойного рентгеновского зеркала Ni/C, приготовленного с помощью лазерного напыления, при двух близких энергиях фотонов: ниже (8.325 кэВ) и выше (8.350 кэВ) K-края поглощения никеля. Показано, что за счет эффективного экранирования глубоких слоев в режиме жесткого фотопоглощения этот метод позволяет получить более надежную по сравнению со стандартным методом диффузного рассеяния информацию об эволюции межслоевых границ раздела. Обнаружено, что сглаживание шероховатости в исследуемом образце происходит в таких больших пространственных масштабах как микронный. Только крупномасштабные дефекты с размерами б&оacute;льшими 10 мкм достаточно хорошо воспроизводятся от слоя к слою. Обсуждаются возможные физические причины наблюдаемого явления. Показано, что эффективное сглаживание в микронном и субмикронном пространственных масштабах имеет принципиальное значение для изготовления многослойных рентгеновских зеркал с высокими коэффициентами отражения.