ИЗМЕНЕНИЕ СОСТОЯНИЙ ПРИМЕСЕЙ И СООТВЕТСТВУЮЩИХ СИЛОВЫХ ПОЛЕЙ В КРЕМНИИ ПОСЛЕ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ ЦИКЛИЧЕСКИХ ОТЖИГОВ
Воронкова Г.М., Григорьев В.В., Зуев А.В., Зуев В.В., Кирюхин А.Д., Маныкин Э.А., Чмырев В.И., Щербаков С.А.

Received: April 10, 2003

PACS: 82.56.Lz, 68.35.Dv, 68.43.Jk, 68.55.Ac

DJVU (164.5K)

PDF (395.6K)

На основе экспериментов, включающих в себя последовательности процессов при различных температурах, различных режимах охлаждения и различных состояниях поверхности, изучено влияние высокотемпературных отжигов с различными режимами охлаждения на изменение величин удельного сопротивления и времени релаксации фотопроводимости в кремнии и на степень реализации акцепторного состояния золота при диффузии его из слоя на поверхности, создаваемого напылением в вакууме. Опытные данные рассматриваются на основе представлений об изменениях состояний примесей, содержащихся в кремнии, и соответствующих им динамических и статических силовых полей.