АНАЛИЗ ЗАРЯДКИ МАКРОЧАСТИЦ В ПРИЭЛЕКТРОДНОМ СЛОЕ ЕМКОСТНОГО ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА
Ваулина О.С., Самарян А.А., Джеймс Б., Петров О.Ф., Фортов В.Е.

Received: November 6, 2002

PACS: 52.27.Gr, 52.27.Lw, 82.70.Dd

DJVU (112.3K)

PDF (328.7K)

Выполнены численные оценки пространственного изменения зарядов пылевых частиц для типичных условий лабораторных экспериментов в емкостном высокочастотном (ВЧ) разряде. Проведены измерения поверхностных потенциалов макрочастиц, левитирующих в верхней части приэлектродного слоя ВЧ-разряда. Предложена модель формирования нерегулярных пылевых колебаний за счет стохастического движения пыли в объеме пространственно-неоднородной плазмы (при наличии градиента пылевых зарядов). На основе данного механизма проведен анализ результатов измерений амплитуды вертикальных колебаний пылевых частиц в приэлектродном слое ВЧ-разряда, который показал, что наличие градиента пылевого заряда может являться причиной развития таких колебаний.