ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ
Страшникова М.И., Возный В.Л., Резниченко В.Я., Гайворонский В.Я.

Received: November 14, 2000

PACS: 78.55.Mb, 78.66.-w

DJVU (135K)

PDF (429.9K)

Измерены спектры поглощения и дисперсия показателя преломления образцов пористого кремния с различной степенью пористости в энергетическом интервале 1.5-3.5 эВ при комнатной температуре. Экспериментальные данные сравниваются с зависимостями, рассчитанными по теории Бруггеманна для диэлектрической проницаемости многокомпонентной системы, которая состоит из кристаллического кремния, SiO₂, аморфного кремния и пустот (пор). Лучшее согласие между экспериментальными и теоретическими зависимостями получено при значительной концентрации SiO₂ в образцах пористого кремния.