ПРОСТРАНСТВЕННОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ УПРУГИХ ДЕФОРМАЦИЙ В СТРУКТУРАХ Ge/Si С КВАНТОВЫМИ ТОЧКАМИ
Ненашев А.В., Двуреченский А.В.

Received: January 18, 2000

PACS: 68.35.Wm

Развита методика расчета упругой деформации в когерентно напряженных гетероструктурах в рамках модели валентных сил (VFF) с использованием функции Грина «атомистической» упругой задачи. Теоретически исследовано пространственное распределение упругих деформаций в системе Ge/Si с квантовыми точками Ge пирамидальной формы, захороненными в матрице Si. Получена картина распределения деформации в пирамидах и в их окружении. В окружении квантовых точек наиболее напряженной является область вершины пирамиды. Внутри квантовых точек окрестность вершины наиболее релаксирована, а максимально напряженный участок расположен по контуру основания пирамиды. В плоскости основания пирамиды внутри квантовых точек происходит сжатие, а по вертикали - растяжение. В окружении квантовых точек картина обратная: в латеральном направлении имеет место растяжение, а по вертикали - сжатие. Показано, что величины локальных деформаций и их пространственное распределение практически не зависят (с точностью до масштабирования) от размера квантовых точек в диапазоне изменения основания пирамиды 10-15 нм.