ZhETF, Vol. 114,
No. 1,
p. 239 (July 1998)
(English translation - JETP,
Vol. 87, No. 1,
July 1998
available online at www.springer.com
)
Исследование огрубления поверхности Si(100), индуцированного адсорбцией кислорода вблизи порога зародышеобразования твердого оксида
Борман В.Д., Лебединский Ю.Ю., Троян В.И.
Received: November 12, 1997
|
|