Роль протяженного филаментационного фокуса при абляции поверхности кремния в водной среде ультракороткими лазерными импульсами
Смирнов Н.А., Кудряшов С.И., Ионин А.А.

Поступила в редакцию: 3 Марта 2022

DOI: 10.31857/S0044451022070000

PDF (2850.9K)

Проводилась лазерная абляция кремниевой мишени в дистиллированной воде одиночными фемто-пикосекундными импульсами при фокусировке объективом с числовой апертурой NA=0.25 в зависимости от положения фокуса относительно поверхности мишени. Представлена визуализация плазменного канала в воде для используемой числовой апертуры. Проведена характеризация абляционного рельефа поверхности с помощью сканирующей электронной и зондовой микроскопии. Получены и проанализированы значения максимальных глубин и объемов кратеров в зависимости от положения линейного и протяженного нелинейного фокуса.