ЖЭТФ, Том 153,
Вып. 6,
стр. 982 (Июнь 2018)
(Английский перевод - JETP,
Vol. 126, No 6,
p. 816,
June 2018
доступен on-line на www.springer.com
)
Ближний порядок в аморфном и кристаллическом сегнетоэлектрическом Hf0.5Zr0.5O2
Эренбург С.Б., Трубина С.В., Квашнина К.О., Кручинин В.Н., Гриценко В.В., Черникова А.Г., Маркеев А.М.
Поступила в редакцию: 14 Февраля 2018
DOI: 10.7868/S0044451018060135
Методами рентгеновской спектроскопии и эллипсометрии исследована микроструктура аморфных и поликристаллических сегнетоэлектрических пленок Hf0.5Zr0.5O2. Из анализа рентгеновских спектров поглощения установлено, что аморфная пленка представляет собой «не полностью перемешанный» твердый раствор металлических оксидов HfO2 и ZrO2. Установлено также, что после быстрого термического отжига образцы смешанных оксидов Hf0.5Zr0.5O2 имеют более упорядоченную поликристаллическую структуру. При этом в пленках образуются отдельные островки фаз монооксидов Hf и Zr, соприкасающиеся на границах раздела и имеющие размеры порядка нескольких нанометров со структурой, аналогичной моноклинной структуре HfO2 и ZrO2. На основе результатов, полученных методом эллипсометрии, для образцов Hf0.5Zr0.5O2 также обнаружено присутствие фаз HfO2 и ZrO2.
|
|