![](/img/nop.png)
Готовится к печати
Том 166
, Вып. 2
, стр. 232
Атомный механизм влияния упругих деформаций эпитаксиальных слоев на поверхности на диффузию адатомов ![\mathrm {Ge}](/img/latex/x5cmathrmx20x7bGex7d.png)
Жачук Р.А.
Поступила в редакцию: 13 Февраля 2024
DOI: 10.31857/S004445102408008X
С помощью расчетов на основе теории функционала плотности исследован атомный механизм влияния деформаций сжатия, образующихся на поверхности эпитаксиальных слоев - , выращенных на подложке , на диффузию адатомов . Было найдено, что энергетический барьер, ограничивающий миграцию адатомов на большие расстояния, расположен вблизи угловых вакансий структуры и вызван образованием ковалентной связи между адатомом и атомом димера в составе структуры . Показано, что увеличение барьера на упруго-сжатой поверхности происходит из-за усиления связи в димере при сжатии поверхности, что ведет к ослаблению связи между адатомом и атомом димера.
|
|