JETP, Vol. 33,
No 4,
p. 753 (October 1971)
(Русский оригинал - ЖЭТФ,
Том 60,
Вып. 4,
стр. 1393,
Октябрь 1971
)
Mechanism of Formation of the Ion Component in Cathode Sputtering of Metals
V.I. Veksler, B.A. Tsipinyuk
Поступила в редакцию: 18 Сентября 1970
|
|
Золотые страницы
PDF (547.4K)