Изменение свойств пленок дихалькогенидов переходных металлов на различных стадиях их формирования в процессе химического газофазного осаждения
Логинов А.Б., Исмагилов Р.Р., Федотов П.В., Сапков И.В., Куватов М.М., Логинов Б.А., Обpазцова Е.Д., Обpазцов А.Н.

Поступила в редакцию: 11 Июля 2023

DOI: 10.31857/S0044451024030052

PDF (8.4M)

Исследовано формирование мезопористых пленок дихалькогенидов переходных металлов (, ) в ходе процесса химического газофазного осаждения с использованием газообразного сероводорода и термически распыляемого переходного металла ( или ). Исследованы морфология, спектры комбинационного рассеяния света, фотолюминесцентные свойства и электрическая проводимость пленок дихалькогенидов переходных металлов, полученных при различных концентрациях прекурсоров и длительности осаждения. Проведенный анализ позволил выявить основные стадии роста пленок: формирование островков в виде изолированных двумерных кристаллитов; частичное наложение кристаллитов при их постепенном разрастании в плоскости подложки; формирование сплошной планарной пленки; образование и дальнейший рост пластинчатых кристаллитов, ориентированных перпендикулярно к поверхности подложки. Качественные изменения морфологии, фотолюминесцентной и электрической проводимостей на различных стадиях формирования покрытий дихалькогенидами переходных металлов объясняются с учетом взаимодействия их электронной подсистемы с подложкой и соседними кристаллитами.