Инверсная заселенность уровней Ar VIII в плазме быстрого конического разряда
Анциферов П.С., Дорохин Л.А., Кошелев К.Н.

Поступила в редакцию: 29 Марта 2022

DOI: 10.31857/S0044451022090188

PDF (819.8K)

Быстрый разряд (скорость нарастания тока А/с) через диэлектрическую полость, заполненную рабочим газом, приводит к образованию ударной волны, которая сходится от внутренней стенки разрядной полости к оси разряда. Специфика кумуляции такой ударной волны в конической полости обеспечивает пространственный контакт горячей плазмы и холодного рабочего газа (аргона в настоящей работе), что приводит к эффективной перезарядке ионов Ar IX, возникающих в горячей области, на нейтральных атомах аргона. В работе демонстрируется наличие стимулированного излучения на переходах 3p-9d в Ar VIII (длина волны 10.78 нм). Такой вывод делается на основе изучения зависимости интенсивности линии от числа последовательно соединенных конических разрядных полостей. Результат может представлять интерес для разработки новых источников EUV-излучения.