Динамическая теория дифракции рентгеновских лучей в кристалле с поверхностной решеткой другого материала
Пунегов В.И.

Поступила в редакцию: 1 Февраля 2019

DOI: 10.1134/S0044451019080030

PDF (3967.3K)

Разработана общая теория динамической рентгеновской дифракции в кристалле, на поверхности которого сформирована латеральная периодическая структура из тонкопленочных линий (полос) другого материала. На основе модели краевых сил вычислены поля упругих решеточных смещений в подложке, возникающих в результате создания латеральной поверхностной решетки. Используя формализм дифракции пространственно-ограниченных рентгеновских пучков, мы получили решения для амплитуд отраженных рентгеновских волн от кристалла с поверхностной решеткой, химический состав которой отличается от состава подложки. Выполнено численное моделирование рентгеновской дифракции в подложке кремния с поверхностными решетками вольфрама и оксида SiO₂. Показано, что угловые распределения интенсивностей рассеяния от кристалла кремния с одинаковыми по размеру вольфрамовыми и оксидными линиями существенно различаются, установлена физическая природа такого различия.