ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ЩЕЛЕВЫХ КРЕМНИЕВЫХ МИКРОСТРУКТУР: ТЕОРИЯ И ЭКСПЕРИМЕНТ
Дьяков С.А., Астрова Е.В., Perova T.S., Тиходеев С.Г., Гиппиус Н.А., Тимошенко В.Ю.

Поступила в редакцию: 7 Октября 2010

DJVU (368.6K)

PDF (895.8K)

Экспериментально и теоретически исследованы спектры отражения щелевых кремниевых структур, состоящих из чередующихся кремниевых слоев и пустот (щелей) с периодом a=4-6 мкм, в среднем ИК-диапазоне (λ=2-25 мкм) при освещении образцов по нормали к поверхности светом, поляризованным вдоль кремниевых слоев и перпендикулярно им. Расчет выполнен методом матрицы рассеяния с учетом потерь на рэлеевское рассеяние в щелевом слое посредством добавления мнимых частей к показателям преломления кремния и воздуха в области щелей. Наблюдается хорошее согласие между экспериментальными и расчетными спектрами коэффициента отражения во всем исследуемом спектральном диапазоне. Из анализа экспериментальных и расчетных спектров найдены близкие друг к другу значения эффективных показателей преломления и двулучепреломления исследуемых структур в длинноволновой области спектра, в то время как значения, рассчитанные в модели эффективной среды в длинноволновом приближении (), дают существенно заниженные значения. Полученные результаты подтверждают эффективность используемого метода матрицы рассеяния для описания оптических свойств кремниевых микроструктур.