ОПРЕДЕЛЕНИЕ НЕРАВНОВЕСНОЙ КОНЦЕНТРАЦИИ ВАКАНСИЙ В КРИСТАЛЛАХ КРЕМНИЯ ПО ИЗМЕРЕНИЮ КОНЦЕНТРАЦИИ АТОМОВ НИКЕЛЯ В УЗЛАХ РЕШЕТКИ
Хорошева М.А., Орлов В.И., Абросимов Н.В., Кведер В.В.

Поступила в редакцию: 20 Ноября 2009

DJVU (96.4K)

PDF (281.3K)

Предложен метод определения неравновесной концентрации вакансий и вакансионных комплексов в кристаллах кремния путем измерения концентрации электрически активных атомов никеля в узлах решетки кремния, [Ni_S], после диффузии никеля при температурах 550-650 . Экспериментально показано, что после диффузии никеля с поверхности в образцы кремния с различной начальной неравновесной концентрацией вакансионных комплексов, [ Si_V]_init, возникших при росте кристаллов, концентрация [ Ni_S] в глубине образца с хорошей точностью соответствует концентрации вакансий [ Si_V]_init, определенной стандартным методом, основанным на анализе профилей концентрации [ Au_S] после диффузии золота с поверхности. Данный метод определения концентрации вакансий гораздо проще, чем стандартный метод, и позволяет использовать более низкие температуру и тепловой бюджет.