ЖЭТФ, Том 126,
Вып. 4,
стр. 833 (Октябрь 2004)
(Английский перевод - JETP,
Vol. 99, No 4,
p. 719,
October 2004
доступен on-line на www.springer.com
)
РАЗЛИЧНЫЕ МОДЫ ГОРЕНИЯ ЕМКОСТНОГО ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА В МЕТАНЕ
Швейгерт И.В.
Поступила в редакцию: 5 Декабря 2003
PACS: 52.27.Aj, 52.65.Ww, 52.80.Pi
Две различные моды емкостного высокочастотного разряда в метане исследованы методом численного моделирования с использованием комбинированного кинетического подхода при давлении газа P=(0.01-1) Торр. Показано, что переход между объемной модой и модой с активными слоями вызывается изменением тока разряда или давления газа. При изменении тока разряда вдоль растущей и падающей веток тока обнаружено явление гистерезиса. Построена фазовая диаграмма, которая обозначает области существования различных мод разряда в широком диапазоне токов и давлений.
|
|
Золотые страницы
DJVU (141.4K)
PDF (395.9K)