Когерентное туннелирование при адиабатическом прохождении света в интегральных волноводных структурах из нитрида кремния
Боровкова О.В., Степанов И.И., Лобанов В.Е., Чермошенцев Д.А.

Поступила в редакцию: 10 Июля 2025

DOI: 10.7868/S3034641X25110017

PDF (761.7K)

В настоящее время фотонные интегральные структуры на основе нитрида кремния (Si₃ N₄) зарекомендовали себя в качестве перспективной платформы для многочисленных приложений, включая нелинейную и квантовую оптику, спектроскопию и лазерную физику. Планарные волноводы и направленные ответвители, изготовленные по КМОП-совместимой технологии, являются ее основными элементами. В работе продемонстрированы возможности эффективной маршрутизации и передачи света, предоставляемые интегральной планарной волноводной структурой из нитрида кремния на основе метода когерентного туннелирования при адиабатическом прохождении света (метод СТAP, coherent tunneling by adiabatic passage) в телекоммуникационном диапазоне 1.55 мкм. Изучена устойчивость предлагаемой схемы к погрешностям изготовления и найдены оптимальные параметры волноводной структуры. Рассмотрены различные типы волноводов и показано, что эффективное управление светом возможно в системах как с сильной, так и со слабой локализацией света. Выявлены механизмы, ограничивающие эффективность управления светом, и определены доступные параметры таких структур. Показано, что эффект CTAP малочувствителен к состоянию поляризации входной моды, поэтому преобразование мод, присущее изогнутым волноводам, не влияет на процесс передачи света.