Влияние отжига на структурные, оптические, электрические и термоэлектрические свойства пленок , выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии
Махмуд Х., Самаа БМ

Поступила в редакцию: 11 Июля 2017

DOI: 10.7868/S004445101806007X

PDF (323.6K)

to (Перевод с английского) to to INFLUENCE OF ANNEALING TREATMENT ON STRUCTURAL, OPTICAL, to ELECTRIC AND THERMOELECTRIC PROPERTIES OF MBE GROWN ZnO to toKh. Mahmood, Samaa BM to Описано влияние отжига на структурные, оптические, электрические и термоэлектрические свойства пленок ZnO, выращенных на кремниевой подложке методом молекулярно-лучевой эпитаксии. Часть выращенных образцов ZnO отжигалась в течение одного часа в программируемой печи в атмосфере кислорода при T=500-C, а другая часть образцов - в другом окружении (вакуум, кислород, пары цинка, а также последовательно в вакууме и в парах цинка) при T=600C. По данным рентгеновской дифракции во всех отожженных образцах имеется сильный дифракционный пик, относящийся к плоскости (002). Для образца, отожженного в атмосфере кислорода, ширина этого пика уменьшалась и размер кристаллита увеличивался, а при отжиге образцов в парах цинка, в вакууме или при последовательном отжиге в вакууме и парах цинка ширина увеличивалась. Спектры фотолюминесценции показывают, что с ростом температуры отжига в атмосфере кислорода интенсивность краевого излучения увеличивалась, а излучение от дефектов уменьшалось, в то время как при отжиге в другом окружении эта интенсивность уменьшалась. Предположительно, отжиг в атмосфере кислорода компенсирует кислородные вакансии, в то время как отжиг в парах цинка и в вакууме приводит к образованию новых вакансий. Измерения эффектов Холла и Зеебека также согласуются с этими выводами.