Журнал Экспериментальной и Теоретической Физики
НАЧАЛО | ПОИСК | ДЛЯ АВТОРОВ | ПОМОЩЬ      e
Общая информация о журнале
Золотые страницы
Адреса редакции
Содержание журнала
Сообщения редакции
Правила для авторов
Загрузить статью
Проверить статус статьи


ЖЭТФ, Том 126, Вып. 4, стр. 833 (Октябрь 2004)
(Английский перевод - JETP, Vol. 99, No 4, p. 719, October 2004 доступен on-line на www.springer.com )

РАЗЛИЧНЫЕ МОДЫ ГОРЕНИЯ ЕМКОСТНОГО ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА В МЕТАНЕ
Швейгерт И.В.

Поступила в редакцию: 5 Декабря 2003

PACS: 52.27.Aj, 52.65.Ww, 52.80.Pi

DJVU (141.4K) PDF (395.9K)

Две различные моды емкостного высокочастотного разряда в метане исследованы методом численного моделирования с использованием комбинированного кинетического подхода при давлении газа P=(0.01-1) Торр. Показано, что переход между объемной модой и модой с активными слоями вызывается изменением тока разряда или давления газа. При изменении тока разряда вдоль растущей и падающей веток тока обнаружено явление гистерезиса. Построена фазовая диаграмма, которая обозначает области существования различных мод разряда в широком диапазоне токов и давлений.

 
Сообщить о технических проблемах