Влияние толщины инкапсулирующих слоев на качество гетероструктур на основе MoSe₂
Бричкин А.С., Голышков Г.М., Черненко А.В.

Поступила в редакцию: 17 Ноября 2022

DOI: 10.31857/S0044451023060111

PDF (531.8K)

Исследована зависимость ширины линий фотолюминесценции экситонов и трионов в монослоях MoSe₂ от толщины инкапсулирующих слоев гексагонального нитрида бора. Проверена возможность вариации ширины линии фотолюминесценции экситонов за счет их взаимодействия с модами резонаторов, образованных кремниевой подложкой и верхним слоем нитрида бора. Это взаимодействие может приводить к существенным изменениям ширины линий фотолюминесценции за счет эффекта Парселла. Измерения, выполненные на серии образцов с разной толщиной верхнего и нижнего слоев нитрида бора, не выявили влияния эффекта Парселла на ширину линии. Тем не менее оказалось, что ширина линий уменьшается в несколько раз при увеличении толщины нижнего слоя нитрида бора с 10 до 100 нм и при толщине 100 нм достигает порядка 2 мэВ. Такое сужение линий фотолюминесценции предположительно связано с уменьшением плотности пузырей субмикронного размера из-за релаксации продольного напряжения в толстом слое нитрида бора.